Спектроскопический эллипсометр SE 850

(SENTCH, Германия, www.sentech.de)

10-issledovatelskoe

Технические характеристики

Спектроскопический эллипсометр специально разработан для исследований с возможностью проведения измерений толщин одно- и многослойных пленок и пленочных структур под различными углами и для измерения оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглощения) на различных типах поверхностей в УФ и видимом диапазоне длин волн (280 – 1700 нм) с возможностью расширений спектрального диапазона до 190 – 2500 нм.

Спектральный диапазон: UV/VIS/NIR: 280…1700 (2500) нм. Размер образца: 6”. Подложка образца: Прозрачная / непрозрачная. Ручной гониометр: Регулировка угла от 40-90º, шаг 5º, воспроизводимость 0,01º.

Метод эллипсометрии основан на измерении поляризации света после его отражения (как правило) от исследуемой поверхности (реже – после его прохождения сквозь нее). В комплект поставки включено программное обеспечение SpectraRay 3 для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение psi, delta, tan[psi], cos[delta], коэффициентов Фурье (S1, S2), интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения и угловой фазы. SpectraRay 3 обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.

Область применения. Нанотехнологогии, полупроводниковые элементы, фотоэлектрические преобразователи энергии, солнечные батареи, плоские дисплеи и мониторы, различные функциональные (в т.ч. оптические) покрытия, биотехнологии и адсорбционные технологии.