Установка для измерения параметров Холла и электросопротивления Ecopia HMS 5000

(Ecopia, Корея, www.ecopia21.co.kr)

6-issledovatelskoe

Технические характеристики

Обеспечивает измерение в автоматизированном режиме вольт-амперных характеристик контактов, концентрации носителей тока, подвижности носителей тока, удельного сопротивления образца. Образцы – объемные полупроводники или гетероструктуры на основе Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN, с концентрацией носителей тока от 1×107 см-3 до 1×1021 см-3, подвижностью носителей тока от 1 см2/(В с) до 107 см2/(В с) и удельным сопротивлением от 10-4 до 107 (Ом см). Тип носителей тока – электроны или дырки, автоопределение.

Построение зависимостей:

  • концентрация электронов (двумерная и объемная) в зависимости от температуры;
  • подвижность электронов в зависимости от температуры;
  • удельное электросопротивление в зависимости от температуры;
  • коэффициент Холла в зависимости от температуры.

Метод. Измерение удельного сопротивления образцов методом Ван-дер Пау на образцах квадратной формы с омическими контактами в углах квадрата. Измерение эффекта Холла (фиксированное магнитное поле 0,55 Т). Измерение температурных зависимостей в интервале температур 77-340 К. Размер образцов (сторона квадрата) от 5×5 мм до 15×15 мм. Для измерения температурных зависимостей при низких температурах необходима заливка жидкого азота.

Область применения: Электрофизические измерения полупроводников. Электроника, материаловедение, нанотехнологии.