Зондовая станция PM8

(Cascade Microtech, США, www.cmicro.com)

8-issledovatelskoe

Технические характеристики

Тестовый столик: Перемещение по осям X-Y (грубое позиционирование) – 200 мм × 200 мм; перемещение по осям X-Y (точное позиционирование) – 10 мм × 10 мм; дискретность по осям X-Y < 1 мкм; ход по оси Z при нагрузке – 10 мм; θ-перемещение ± 9º.

Привод держателя измерительной головки: ход по оси Z – 45 мм; ход при контакте/при отделении 0,4 мм; воспроизводимость < 1 мкм; вертикальная / горизонтальная жёсткость < 5 мкм / 10 Н.

Столик микроскопа с ручным управлением: диапазон перемещений – 200 мм × 200 мм; дискретность – 88 мм / об. (грубое позиционирование), 0,25 мм /об. (точное позиционирование); способ подъёма – вручную, опрокидывание.

Столик микроскопа с программным управлением: диапазон перемещений – 50 мм × 50 мм; дискретность – 0,25 мкм; способ подъёма – пневматический.

Источники: электропитание – 115 / 230 В, 50 / 60 Гц; вакуум – (-0,8) бар; сжатый воздух – 4 бар.

Методы. Ручная зондовая станция для измерения пластин до 200 мм (8 дюймов).

Область применения. Предназначена для точного аналитического контроля на полупроводниковых пластинах диаметром до 200 мм, в частности, для испытания готовых компонентов, анализа неисправностей, высокочастотных (ВЧ) испытаний в диапазоне до 220 ГГц, испытаний оптоэлектронных и микроэлектромеханических схем.