Комбинированная система нанесения и задубливания резиста Sawatec SM180 + НР150

(Sawatec, Швейцария, www.sawatec.com)

9

Технические характеристики

Система состоит из лабораторной центрифуги (SM180) и температурного столика (НР150). Характеристики SM180: Вставляемый модуль для сушки позволяет обрабатывать подложки до 150 мм диаметром; возможен как вакуумный зажим подложки, так и механический; до 10 пар установок скорость/время; имеет скорость 10 000 об/мин, укомплектована крышкой и чашей из полиоксиметилена (пластика). Скорость вращения 0-10 000 об/мин, точность вращения ± 1 на 6000 об/мин. Ускорение 80-500 рад/с2.

Характеристики НР150: Максимальная температура нагрева 250°С; загрузка подложки вручную; цифровые установки и отображение температуры; фиксация подложки вакуумом в центре столика; встроенный вентилятор обеспечивает обдув воздухом и вывод паров во внешнюю вытяжку; три винта сверху позволяют выровнять термостолик по уровню; крышка с уплотнениями; опционально – напуск азота под крышку.

Методы. Нанесение резиста методом Hot plate.

Область применения. Система предназначена для нанесения резистов с помощью центрифугирования и нагревания пластин и подложек с высокой равномерностью при температуре до 150 или до 250°С, для сушки фоторезиста и эпоксидных покрытий.