Установка быстрого термического отжига Modular RTP600S

(Modular Process Technology Corp., США, www.modularpro.com)

8

Технические характеристики

  • Поддерживаемый размер пластин 2 – 6 дюймов.
  • Рабочий диапазон температур 250 – 1200°С.
  • Точность поддержания температуры ± 2°С.
  • Скорость изменения температуры 1 – 200°С/сек.
  • Погрешность повторяемости температуры ± 2°С.
  • Погрешность индикации температуры ± 2°С.
  • Среда отжига: атмосфера азота.
  • Габариты, вместе с рабочей станцией, без монитора (Д, Ш, В) 350×610×580 мм.
  • Вес рабочей камеры 68 кг.
  • Номинальная потребляемая мощность 14 кВт.

Методы. Установка предназначена для проведения процессов быстрого термического отжига пластин до температуры 1200°С в инертной среде. В процессе отжига осуществляется продувка камеры инертным газом. Термообработка производится с помощью галогенных ламп.

Область применения. Установка применяется в микроэлектронной промышленности для высокотемпературного постимплантационного отжига, отжига металлических контактов и пленок и роста оксидных пленок; микроэлектроника, нанотехнологии.