[fullwidth background_color=”” background_image=”” background_parallax=”none” enable_mobile=”no” parallax_speed=”0.3″ background_repeat=”no-repeat” background_position=”left top” video_url=”” video_aspect_ratio=”16:9″ video_webm=”” video_mp4=”” video_ogv=”” video_preview_image=”” overlay_color=”” overlay_opacity=”0.5″ video_mute=”yes” video_loop=”yes” fade=”no” border_size=”0px” border_color=”” border_style=”solid” padding_top=”50px” padding_bottom=”0px” padding_left=”0″ padding_right=”0″ hundred_percent=”no” equal_height_columns=”no” hide_on_mobile=”no” menu_anchor=”” class=”” id=””][fusion_text]

Установка быстрого термического отжига Modular RTP600S

(Modular Process Technology Corp., США, www.modularpro.com)[/fusion_text][separator style_type=”single” top_margin=”0″ bottom_margin=”0″ sep_color=”#2b71de” border_size=”5px” icon=”” icon_circle=”” icon_circle_color=”” width=”” alignment=”center” class=”” id=””][one_full last=”yes” spacing=”no” center_content=”no” hide_on_mobile=”no” background_color=”#ffffff” background_image=”” background_repeat=”no-repeat” background_position=”left top” hover_type=”none” link=”” border_position=”all” border_size=”1px” border_color=”#e2e2e2″ border_style=”solid” padding=”30px 30px 30px 30px” margin_top=”” margin_bottom=”” animation_type=”0″ animation_direction=”down” animation_speed=”0.1″ animation_offset=”” class=”green-border rounded-border” id=””][fusion_text]8

Технические характеристики

  • Поддерживаемый размер пластин 2 – 6 дюймов.
  • Рабочий диапазон температур 250 – 1200°С.
  • Точность поддержания температуры ± 2°С.
  • Скорость изменения температуры 1 – 200°С/сек.
  • Погрешность повторяемости температуры ± 2°С.
  • Погрешность индикации температуры ± 2°С.
  • Среда отжига: атмосфера азота.
  • Габариты, вместе с рабочей станцией, без монитора (Д, Ш, В) 350×610×580 мм.
  • Вес рабочей камеры 68 кг.
  • Номинальная потребляемая мощность 14 кВт.

Методы. Установка предназначена для проведения процессов быстрого термического отжига пластин до температуры 1200°С в инертной среде. В процессе отжига осуществляется продувка камеры инертным газом. Термообработка производится с помощью галогенных ламп.

Область применения. Установка применяется в микроэлектронной промышленности для высокотемпературного постимплантационного отжига, отжига металлических контактов и пленок и роста оксидных пленок; микроэлектроника, нанотехнологии.[/fusion_text][/one_full][/fullwidth]