[fullwidth background_color=”” background_image=”” background_parallax=”none” enable_mobile=”no” parallax_speed=”0.3″ background_repeat=”no-repeat” background_position=”left top” video_url=”” video_aspect_ratio=”16:9″ video_webm=”” video_mp4=”” video_ogv=”” video_preview_image=”” overlay_color=”” overlay_opacity=”0.5″ video_mute=”yes” video_loop=”yes” fade=”no” border_size=”0px” border_color=”” border_style=”solid” padding_top=”50px” padding_bottom=”0px” padding_left=”0″ padding_right=”0″ hundred_percent=”no” equal_height_columns=”no” hide_on_mobile=”no” menu_anchor=”” class=”” id=””][fusion_text]

Установка плазмохимического реактивно-ионного травления SPTS LPX ICP

(SPP Process Technology Systems, Великобритания, spts.com)[/fusion_text][separator style_type=”single” top_margin=”0″ bottom_margin=”0″ sep_color=”#2b71de” border_size=”5px” icon=”” icon_circle=”” icon_circle_color=”” width=”” alignment=”center” class=”” id=””][one_full last=”yes” spacing=”no” center_content=”no” hide_on_mobile=”no” background_color=”#ffffff” background_image=”” background_repeat=”no-repeat” background_position=”left top” hover_type=”none” link=”” border_position=”all” border_size=”1px” border_color=”#e2e2e2″ border_style=”solid” padding=”30px 30px 30px 30px” margin_top=”” margin_bottom=”” animation_type=”0″ animation_direction=”down” animation_speed=”0.1″ animation_offset=”” class=”green-border rounded-border” id=””][fusion_text]

Технические характеристики

Основной блок установки предназначен для размещения модулей и комплектуется: алюминиевой рабочей камерой с портом откачки; окном для наблюдения; электродом подложкодержателя с системой нагрева до 400°С; ВЧ-источником индуктивно-связанной плазмы MKS Spectrum 13,56 МГц мощностью 1,5 кВт; системой подачи гелия под подложку, интегрированной с подложкодержателем; контуром охлаждения водой или жидким азотом интегрированной в стенки рабочей камеры; системой контроля давления (вакуумметр Пеннинга и емкостной датчик), интегрированной в стенки рабочей камеры. В состав установки также входит: система откачки камеры; блок регулировки расхода газов; лазерный интерферометр Verity Spectragraph SD 1024; система управления.

Метод. Установка обеспечивает анизотропное травление материалов, в режиме реактивно-ионного травления.

Область применения. Установка предназначена для проведения реактивно-ионного травления многослойных гетероструктур нитридов алюминия-галлия-индия на подложках лейкосапфира или карбида кремния, травление сквозных отверстий в подложках фосфида индия и арсенида галлия. Осаждение SiN_x, SiO₂ из газовой фазы на подложки с использованием плазменного разложения реакционного газа.[/fusion_text][/one_full][/fullwidth]